特許
J-GLOBAL ID：200903034504418682
半導体基板保管ボックス
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-316497
公開番号（公開出願番号）：特開平9-162273
出願日： 1995年12月05日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：
【要約】【課題】半導体基板の静電気を除去し、半導体基板への汚染物質の吸着を低減する。【解決手段】半導体基板1を収納し保管する半導体基板保管ボックス2において、前記半導体基板保管ボックス2の内部側に設けられた半導体基板保管ボックス2に収納された状態の半導体基板1と接触する第1の導電体部分4aと、半導体基板保管ボックス2の外側に設けられた第2の導電体部分4bと、第1の導電体部分4aと第2の導電体部分4bとを電気的に接続する第3の導電体部分4cとを具備する。
請求項（抜粋）：
半導体基板を収納し保管する半導体基板保管ボックスにおいて、半導体基板保管ボックスに収納された状態の半導体基板と接触する導電体を具備することを特徴とする半導体基板保管ボックス。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 T
, B65D 85/38 S
