特許
J-GLOBAL ID：200903034507312672
薄膜磁気ヘッドの磁極形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
茂見 穰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-012176
公開番号（公開出願番号）：特開平7-210823
出願日： 1994年01月10日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：
【要約】【目的】 メッキ液中に磁極形状を制御するための添加剤を入れる必要がなく、同一のメッキ液槽を使用しても所望の様々な磁極断面形状にメッキできるようにする。【構成】 基板12上に磁性膜パターンを画定するフレームレジストを形成し、硫酸第1鉄及び硫酸ニッケルを含むメッキ液16を用いて、薄膜磁気ヘッドの磁極となるパーマロイの磁性膜を形成する。メッキ液攪拌用のパドル24の駆動速度を調整してメッキ液の攪拌量を制御することにより、磁性膜の断面形状を制御する。棒状パドルを使用し、それを基板に対して平行に且つトラック幅方向に往復駆動する方法が望ましい。
請求項（抜粋）：
基板上に磁性膜パターンを画定するフレームレジストを形成し、硫酸第1鉄及び硫酸ニッケルを含むメッキ液を用いて、薄膜磁気ヘッドの磁極となるパーマロイの磁性膜を形成する方法において、メッキ液攪拌用のパドルの駆動速度の調整によってメッキ液の攪拌量を制御することにより前記磁性膜の断面形状を制御することを特徴とする薄膜磁気ヘッドの磁極形成方法。
IPC (3件)：
G11B 5/31
, C25D 5/08
, H01F 41/26
