特許
J-GLOBAL ID：200903034509940816
直交度測定方法及びステージ装置並びに露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-339964
公開番号（公開出願番号）：特開平9-162113
出願日： 1995年12月04日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：
【要約】【課題】 特別な装置を用いることなく、移動鏡の直交度を簡単に測定する。【解決手段】 Y軸と45度を成しXY両軸と同一平面内の第3軸方向(ビームLBO方向)に沿って基板テーブル26を所定距離L移動させ、このとき、テーブル26のX軸方向の位置を計測する干渉計34Xの計測値に基づいてテーブル26のX軸方向の移動量Sを求める。ここで、移動鏡30、32の直交度に誤差が生じていなければ、テーブル26が第3軸方向に沿って所定距離L移動する場合、テーブル26のX軸方向の移動量Sは、所定距離Lと角度45度とに基づく幾何学的な関係により定まる移動量S’と一致する筈であるから、両者の差が判れば、これに基づいて直交度誤差θを演算できる。そこで、幾何学的な計算により両移動鏡30、32の直交度のずれ角θを算出する。
請求項（抜粋）：
所定の第1軸及びこれに直交する第2軸に沿って2次元移動するステージ上に前記第1軸、第2軸にそれぞれ直交して配置された第1干渉計用の移動鏡と第2干渉計用の移動鏡との直交度を測定する直交度測定方法であって、前記第1軸及び第2軸の内の一方の軸と既知の角度αを成し前記両軸と同一平面内の第3軸方向に沿って前記ステージを所定距離L移動させる第1工程と;前記第1軸及び第2軸の内の他方の軸方向の前記ステージの位置を計測する前記干渉計の計測値に基づいて前記ステージの距離Lの移動による前記他方の軸方向の前記ステージの移動量Sを求める第2工程と;前記距離L、移動量Sと、前記角度αを用いて幾何学的な計算により前記両移動鏡の直交度のずれ角θを算出する第3工程とを含む直交度測定方法。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G01B 11/26
, G03F 9/00
H01L 21/30 515 G
, G01B 11/26 G
, G03F 9/00 H
, H01L 21/30 516 B
