特許
J-GLOBAL ID：200903034510176445
ガスセンサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-217238
公開番号（公開出願番号）：特開平9-061390
出願日： 1995年08月25日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：
【要約】【目的】 燃焼機器に搭載できる高信頼性のガスセンサでとくに、化学センサの最大の課題である電極・触媒の劣化に関わる耐久信頼性を高めたガスセンサを提供する。【構成】 多孔性セラミックまたはガラス1の細孔径を制御してガス透過選択性を付与することで、センサの劣化につながる妨害・被毒ガスをセンサ機能膜部分に進入できなくした構造の半導体方式および固体電解質方式の一酸化炭素検知ガスセンサ。
請求項（抜粋）：
表面から裏面へと貫通する複数の通気孔を有する多孔質セラミックまたはガラス平板の貫通孔をゾルゲル皮膜により孔径制御してなる第一のセラミックまたはガラス平板と、裏面側にヒータ膜を有し、表面側に櫛形の金属膜電極を設け、前記櫛形電極膜表面上にN型半導体特性を持つ金属酸化物を含有する第一の皮膜および遷移金属酸化物を含むP型半導体特性を持つ第二の皮膜を積層形成した表面皮膜を有する第二のセラミック平板とを対向させ、前記表面皮膜の外周を取り囲む形状に突起を設けたガラス皮膜にて両平板をシール接着してなるガスセンサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 27/12 B
, G01N 27/58 B
