ガラス基板のクランプ装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：坂間暁 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-233848
公開番号（公開出願番号）：特開平9-079943
出願日： 1995年09月12日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：

【要約】【課題】液晶表示、等に用いられるガラス基板の検査装置に適用されるクランプ装置に関し、基板のたわみをなくし、光学的焦点の外れを防止する。【解決手段】基板1はその両端を支持部材2、クランプ部材3とで支持される。基板1の支持角を、両端自由支持の場合の角度αに対し、絶対値を1/4に、方向を逆にすることにより中央部Cを両端A,Bと同一高さにすることができる。実用上この角度は±30%程度の誤差は許される。クランプ部材3はクランプアーム4に取付けられ、アーム4はレール5とガイド6に導かれ、ベース部材7に取付けのエアシリンダー8により上下して角度調整される。この角度にすると白色光源10からの光11及びUV光源16からの光17は基板1が同一高さであるのでレンズ12、絞り13により正確な焦点範囲でCCDカメラ15及び19で受光される。

請求項（抜粋）：

長方形状ガラス基板の端部の少なくとも2辺を支持部材とクランプ部材とで挟んでクランプするガラス基板のクランプ装置であって、前記ガラス基板端部の支持部材と当接する座面及びクランプ部材と当接するクランプ面に、前記ガラス基板端部を自由支持端とした時の端部における傾きとは逆方向の傾き角度を与えるクランプ手段を設けたことを特徴とするガラス基板のクランプ装置。

前のページに戻る