特許

J-GLOBAL ID：200903034525972973

コンタクトピン

発明者： 山坂 力仁
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-180207
公開番号（公開出願番号）：特開2002-005957
出願日： 2000年06月15日
公開日（公表日）： 2002年01月09日
要約：

【要約】【課題】 最近の半導体ウエハの高集積化するに伴ってパッドサイズが小径化してきているため、コンタクトピンPの使用本数が例えば3000ピンという多数に及び、コンタクトピンPの軸部1の外径も小径化して例えば50μmを切る寸法になると共に針圧が低圧化し、針先部2の平坦面3が縮小し、カメラ等の撮像手段による平坦面3からの反射光Rの検出が益々難しくなる。【解決手段】 本発明のコンタクトピン10は、軸部11と針先部12とからなり、コンタクトピン10を検出するための反射面13を針先部12を囲むように設けたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

被検査体の電気的特性検査用のコンタクタに用いられるコンタクトピンにおいて、上記コンタクトピンは軸部と針先部とからなり、上記コンタクトピンを検出するための反射面を上記針先部を囲むように設けたことを特徴とするコンタクトピン。

IPC (4件)：

G01R 1/067 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

G01R 1/067 G ,  G01R 31/26 J ,  H01L 21/66 B ,  G01R 31/28 K

Fターム (18件)：

2G003AA10 ,  2G003AG03 ,  2G003AG13 ,  2G011AA09 ,  2G011AA15 ,  2G011AB06 ,  2G011AC09 ,  2G011AD01 ,  2G011AE03 ,  2G011AF07 ,  2G032AA00 ,  2G032AF01 ,  2G032AL04 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106DD04 ,  4M106DD05 ,  4M106DD10

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開昭63-280429
  
• 特開昭61-019143