特許

J-GLOBAL ID：200903034526396402

光重合性組成物の硬化膜用剥離液

発明者： 高坂 英治 ,  鈴木 輝美
出願人/特許権者： ニチゴー・モートン株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-161655
公開番号（公開出願番号）：特開2001-343759
出願日： 2000年05月31日
公開日（公表日）： 2001年12月14日
要約：

【要約】【課題】光照射により基板上に形成された光重合性組成物の硬化膜を、基板から剥離するための剥離液、特に錫メッキの施された基板上から光重合性組成物の硬化膜を剥離するための剥離液に関する。【解決手段】 アルカリ水溶液現像型の光重合性組成物を基板に塗布又はラミネートした後、活性光線により該組成物を硬化させて得られる硬化膜を基体から剥離する際に用いられる剥離液であって、その組成が(a)水 85〜94重量部(b)水溶性アルカノールアミン 1〜10重量部(c)第4級アンモニウムハイドロキサイド 0.1〜5重量部(d)2価の錫イオンを4価の錫イオンに酸化しうる金属イオン 0.001〜0.02重量部を含有してなる剥離液。

請求項（抜粋）：

アルカリ水溶液現像型の光重合性組成物を基板に塗布又はラミネートした後、活性光線により該組成物を硬化させて得られる硬化膜を基板から剥離する際に用いられる剥離液であって、その組成が(a)水 85〜94重量部(b)水溶性アルカノールアミン 1〜10重量部(c)第4級アンモニウムハイドロキサイド 0.1〜5重量部(d)2価の錫イオンを4価の錫イオンに酸化しうる金属イオン 0.001〜0.02重量部を含有してなることを特徴とする光重合性組成物の硬化膜用剥離液。

IPC (2件)：

G03F 7/42 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 7/42 ,  H01L 21/30 572 B

Fターム (3件)：

2H096GA08 ,  2H096LA03 ,  5F046MA02