特許
J-GLOBAL ID：200903034535679263
リン酸カルシウム質膜の形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-108711
公開番号（公開出願番号）：特開平6-287008
出願日： 1993年03月30日
公開日（公表日）： 1994年10月11日
要約：
【要約】【目的】 任意のCa/P比のリン酸カルシウム質膜を基材上に形成する。【構成】 リン酸カルシウム系ガラスをスパッタリング用ターゲット材とし、これをスパッタリングして基材上に非晶質のリン酸カルシウム質膜を形成する。また、この非晶質のリン酸カルシウム質膜を加熱処理すると結晶質のリン酸カルシウム質膜とすることができる。
請求項（抜粋）：
スパッタリング用ターゲットとしてリン酸カルシウム系ガラスを用い、スパッタリングにより基材上に非晶質のリン酸カルシウム質膜を形成することを特徴とするリン酸カルシウム質膜の形成方法。
IPC (2件)：
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