特許

J-GLOBAL ID：200903034538396122

電子写真感光体の評価装置および評価方法、電子写真感光体の製造装置および製造方法

発明者： 鈴木 孝尚 ,  太田 元治 ,  鈴木 勝
出願人/特許権者： 富士ゼロックス株式会社
代理人 (1件)： 石井 康夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-258462
公開番号（公開出願番号）：特開平9-106218
出願日： 1995年10月05日
公開日（公表日）： 1997年04月22日
要約：

【要約】【課題】 電子写真感光体の製造工程において、精度よく膜厚等の特性値を評価する電子写真感光体の評価装置および評価方法を提供するとともに、その評価結果を製造工程に反映させた電子写真感光体の製造装置および製造方法を提供する。【解決手段】 光源6からの光を光ファイバ4及びプローブ3を経由して中間製品1上の検出エリア2の表面に照射する。照射光は、中間製品1の導電性基体上の各層を順次通過し、導電性基体表面で反射された後、再び各層を順次通過し、プローブ3および光ファイバ4を経由して、分光光度計5に入射する。膜厚算出部7の分光吸収比演算部8は、分光光度計5で得たスペクトルから分光吸収比を計算する。膜厚換算部9は、この分光吸収比を、予め重回帰式記憶部10が記憶している重回帰式へ代入し、膜厚または膜厚に依存する特性値を求める。

請求項（抜粋）：

導電性基体上に複数の層を積層してなる電子写真感光体の評価を行なう電子写真感光体の評価装置において、少なくとも被評価対象となる層の形成後の電子写真感光体の表面に光を照射し反射光の分光特性を検出する分光特性検出手段と、該分光特性検出手段で検出した分光特性から求めた分光吸収比に基づき前記被評価対象となる層の層厚または層厚に関する特徴量を得る演算手段を有することを特徴とする電子写真感光体の評価装置。

IPC (4件)：

G03G 21/00 ,  G01B 11/06 ,  G01J 3/42 ,  G01J 3/45

FI (4件)：

G03G 21/00 ,  G01B 11/06 Z ,  G01J 3/42 ,  G01J 3/45