特許

J-GLOBAL ID：200903034545938119

レーザー加工装置のチャックテーブル

発明者： 飯塚 健太呂
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (2件)： 小野 尚純 ,  奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-076064
公開番号（公開出願番号）：特開2005-262249
出願日： 2004年03月17日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：

【課題】 被加工物にレーザー光線を照射する際に、被加工物をオーバーランしてレーザー光線が照射されても被加工物を保持する被加工物保持領域が損傷されないレーザー加工装置のチャックテーブルを提供する。【解決手段】 被加工物を保持する被加工物保持領域を備えたレーザー加工装置のチャックテーブルであって、被加工物保持領域が被加工物と相似形で小さく形成されており、該被加工物保持領域の外側周囲に緩衝溝が形成されている。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

被加工物を保持する被加工物保持領域を備えたレーザー加工装置のチャックテーブルにおいて、 該被加工物保持領域が被加工物と相似形で小さく形成されており、該被加工物保持領域の外側周囲に緩衝溝が形成されている、 ことを特徴とするレーザー加工装置のチャックテーブル。

IPC (1件)：

B23K26/10

FI (2件)：

B23K26/10 ,  H01L21/78 B

Fターム (2件)：

4E068CE09 ,  4E068CF04

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特許第3408805号公報
  
• レーザビームを使用した加工機
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-131776   出願人：株式会社ディスコ