特許
J-GLOBAL ID：200903034556593288
物体表面の凹凸測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 清明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-044470
公開番号（公開出願番号）：特開平5-113321
出願日： 1991年02月15日
公開日（公表日）： 1993年05月07日
要約：
【要約】【目的】 物体表面の凹凸を非接触にて測定する。【構成】 CCDカメラCaの光軸Aを物体Wに対し垂直に向け、照射光源Laからの照射光軸Bとカメラ光軸Aとのなす角度θを一定とし、照射光を極細い連続光線として物体Wを照射し、この反射光をカメラで撮像し、画像において物体表面の凹凸に基づく反射光の光点H,M,Lの位置ずれ距離に相当する画像のピクセル数を読み出し、これと1ピクセル当たりの実寸法とから物体表面の凹凸の高さを測定する。【効果】 物体表面の凹凸の高さの変化が反射光の横ずれとして撮像される。従って凹凸の高さを非接触で確実に測定できる。
請求項（抜粋）：
CCDカメラの光軸を物体に対し垂直に向け、照射光源からの照射光軸とカメラ光軸とのなす角度を一定とし、照射光を極細い連続光線として物体を照射し、この反射光をカメラで撮像し、物体表面の凹凸に基づく反射光の光点の位置ずれ距離を計測し、これにより物体表面の凹凸を測定することを特徴とする物体表面の凹凸測定方法。
IPC (3件)：
G01B 11/30
, G01B 11/00
, G01B 21/30
