複数レーザビームの発生装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-332778
公開番号（公開出願番号）：特開2001-210904
出願日： 2000年10月31日
公開日（公表日）： 2001年08月03日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】複数の波長範囲を有するレーザビーム発生装置の提供【解決手段】複数レーザビーム発生装置において、-初期ビームFをP波長で放出するレーザ源10と、-初期ビームをN中間ビームFIに分割する波長分割スプリッター12とを含み、ここにN≦Pとし、また各中間ビームFIは少なくとも1つの波長からなる波長グループを含み、また前記レーザビーム発生装置は、-各中間ビームFIをni区分ビームFDに分割するためためのN’エネルギー・スプリッター組立体14,16,...を含み、ここにN’≦Nとし、またni区分ビームのそれぞれが実質的に同一エネルギーを有し、これにより、下記の式によってK区分ビーム(FD)が得られることを特徴とする複数のレーザビーム発生装置

請求項（抜粋）：

複数レーザビーム発生装置において、- 初期ビームをP波長で放出するレーザ源と、- 初期ビームをN中間ビームに分割する波長分割スプリッターとを含み、ここにN≦Pとし、また各中間ビーム(FI)は少なくとも1つの波長からなる波長グループを含み、また前記レーザビーム発生装置は、- 各中間ビーム(FI)をni区分ビームに分割するためためのN’エネルギー・スプリッター組立体を含み、ここにN’≦Nとし、またni区分ビームのそれぞれが実質的に同一エネルギーを有し、これにより、下記の式によって【数1】K区分ビーム(FD)が得られることを特徴とする複数のレーザビーム発生装置。

IPC (6件)：

H01S 3/10 , G02B 26/10 , G02F 1/11 505 , G03F 7/20 501 , G03F 7/20 505 , H04N 1/113

FI (6件)：

H01S 3/10 Z , G02B 26/10 B , G02F 1/11 505 , G03F 7/20 501 , G03F 7/20 505 , H04N 1/04 104 Z

前のページに戻る