特許

J-GLOBAL ID：200903034571680146

材料の複屈折位相差を測定する装置

発明者： 新津 靖 ,  五味 健二 ,  一瀬 謙輔
出願人/特許権者： 株式会社クランニー・テクノロジー
代理人 (1件)： 八嶋 敬市
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-094871
公開番号（公開出願番号）：特開2006-275749
出願日： 2005年03月29日
公開日（公表日）： 2006年10月12日
要約：

【課題】未知の位相差の試料と、既知の位相差を有する参照波長板を同時に計測することで、未知の位相差の絶対値を得る。【解決手段】 レ-ザ光、スリット光レンズ、偏光子、第1の1/4波長板、既知の参照複屈折板、第2の1/4波長板、検光子、フォトディテクタから構成され、第1の1/4波長板と既知の参照複屈折板との間に測定試料を配置し、その未知の位相差だけの光強度分布と未知の位相差+参照複屈折板既知の位相差の光強度分布を同時にフォトディテクタにより測定し、測定試料の未知の位相差の絶対値を求めて複屈折位相差を測定する装置を改良する。測定試料後の光路軸上に3個のハ-フミラ-を配置して当該光路を3光路に分枝し、これら3光路上に3枚の既知の参照複屈折板を互いに0度、90度、45度の3方向に向けて配置し、これら3光路の透過レ-ザ光を3個のフォトディテクタで受光して、これらに未知の位相差をそれぞれ重ね、主軸方向を一意に決定する。【選択図】図10

請求項（抜粋）：

レ-ザ光源と、レ-ザ光が順次透過する光速を絞るコリメ-タ-レンズに組み合わされた集光レンズまたはスリット光レンズ、入射したレ-ザ光を光路軸に垂直な平面上で一定の方向に振幅する直線偏光波にして透過する偏光子、第1の1/4波長板、既知の参照複屈折板、第2の1/4波長板、他の方向に振幅する直線変調偏光波として透過する検光子、透過したレ-ザ光を受けて電気信号を発生するフォトディテクタから構成され、前記第1の1/4波長板と既知の参照複屈折板との間に測定試料を配置し、測定試料の未知の位相差だけの光強度分布とこの未知の位相差+前記参照複屈折板既知の位相差の光強度分布を同時前記フォトディテクタの出力値により測定し、前記測定試料の未知の位相差の絶対値を求める材料の複屈折位相差を測定する装置において、 前記測定試料後の光路軸上に3個のハ-フミラ-を配置して当該光路を3光路に分枝し、これら3光路上に3枚の既知の参照複屈折板を互いに0度、90度、45度の3方向に向けてそれぞれ配置し、これら3光路の透過レ-ザ光を3個のフォトディテクタでそれぞれ受光して、これらに前記未知の位相差をそれぞれ重ね、主軸方向を一意に決定することを特徴とする材料の複屈折位相差を測定する装置。

IPC (2件)：

G01N 21/23 ,  G01L 1/00

FI (2件)：

G01N21/23 ,  G01L1/00 B

Fターム (12件)：

2G059AA10 ,  2G059BB16 ,  2G059EE01 ,  2G059EE04 ,  2G059GG01 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ20 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK04

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特許出願公告平4-70582号
  
• 特許2713190
  
• 光弾性定数の測定方法および測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-315147   出願人：株式会社ニコン