特許
J-GLOBAL ID：200903034579784609
基板搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-147598
公開番号（公開出願番号）：特開平8-017896
出願日： 1994年06月29日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 基板を汚染することもなく、吸着の平行が容易にできて真空吸着により基板を正確に保持できる小型の基板搬送装置を提供すること。【構成】 基板を真空吸着保持するためのパツド1と、パツド1に真空吸着保持された基板を搬送するためのハンド2と、パツド1とハンド2の間で真空供給用流路を形成する弾性部材3を有する。
請求項（抜粋）：
基板を真空吸着保持するためのパツドと、前記パツドに真空吸着保持された前記基板を搬送するためのハンドと、前記パツドと前記ハンドの間で真空供給用流路を形成する弾性部材を有することを特徴とする基板搬送装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B25J 15/06
, B65G 49/07
, H01L 21/027
