特許
J-GLOBAL ID：200903034580329290
走査光学ユニット検査方法および装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
樺山 亨 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-123764
公開番号（公開出願番号）：特開2000-314660
出願日： 1999年04月30日
公開日（公表日）： 2000年11月14日
要約：
【要約】【課題】走査光学ユニットのレーザビームの副走査方向の走査特性を簡単且つ確実に検査する。【解決手段】レーザビーム5の走査方向に対して格子方向が第1の角度をなす第1の光学格子61と走査方向に対して格子方向が第2の角度をなす第2の光学格子62を有し、第1及び第2の光学格子61,62の配列幅がレーザビームの走査領域に比して小さい光学格子部材6を被走査面と等価な位置に配備し、検査されるべき走査光学ユニットのレーザビーム5により走査し、第1及び第2の光学格子61,62により強度変調されたレーザ光の強度変化を電気信号に変換し、上記電気信号に基づき、レーザビーム5が第1の光学格子61の所定の格子位置を通過後、第2の光学格子62の所定の格子位置を通過するまでの通過時間:T1を測定し、予め定められた基準時間:T2と通過時間:T1との差により、レーザビームの副走査方向の基準走査位置に対するずれを検出する。
請求項（抜粋）：
レーザビームを等速的に走査する走査光学ユニットにおいて、レーザビームの副走査方向の走査特性を検査する方法であって、レーザビームの走査方向に対して格子方向が第1の角度をなす第1の光学格子と上記走査方向に対して格子方向が第2の角度をなす第2の光学格子を有し、上記第1及び第2の光学格子の配列幅が、レーザビームの走査領域に比して小さい光学格子部材を被走査面と等価な位置に配備し、検査されるべき走査光学ユニットのレーザビームにより走査し、上記第1および第2の光学格子により強度変調されたレーザ光の強度変化を電気信号に変換し、上記電気信号に基づき、レーザビームが、第1の光学格子の所定の格子位置を通過してから、第2の光学格子の所定の格子位置を通過するまでの通過時間を測定し、予め定められた基準時間と測定された通過時間との差により、レーザビームの副走査方向の基準走査位置に対するずれを検出することを特徴とする走査光学ユニット検査方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01J 1/42 E
, G02B 26/10 Z
2G065AA11
, 2G065AB09
, 2G065AB26
, 2G065BA01
, 2G065BB49
, 2G065BC03
, 2G065BC09
, 2G065BC19
, 2G065BD08
, 2G065DA17
, 2H045AA01
, 2H045DA46
