特許
J-GLOBAL ID：200903034581838317
クリーンエアー供給装置と供給方法
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-180535
公開番号（公開出願番号）：特開平7-035368
出願日： 1993年07月22日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：
【要約】【目的】 クリーンルームへの清浄な空気の供給に関し、塵埃と化合物ガスとを同時に除去することを目的とする。【構成】 外部より供給した空気流に複数のノズルから純水を噴霧してミストを作る手段と、このミストに複数のノズルより液体空気を噴霧してミスト中に存在する水分を凍結させる手段と、ミストをエリミネータを通して凍結した微細粒の氷を除去する手段と、液体窒素が流れる冷却用配管と加温した窒素ガスが流れる再生用配管とが微細間隔を隔てゝ交互に複数個配列しており、随時配管中を流れる媒体を切り換え得る配管列に空気流を供給して残留する水分を除去する手段と、この空気流を所定の温湿度に調整して後、クリーンルームに供給する手段とを含むことを特徴としてクリーンエアー供給装置を構成する。
請求項（抜粋）：
クリーンルーム内に清浄な空気を供給する装置が、外部より供給した空気流に複数のノズルから純水を噴霧してミストを作る手段と、該ミストに複数のノズルより液体空気を噴霧して前記ミスト中に存在する水分を凍結させる手段と、該ミストをエリミネータを通して凍結した微細粒の氷を除去する手段と、液体窒素が流れる冷却用配管と加温した窒素ガスが流れる再生用配管とが微細間隔を隔てゝ交互に複数個配列しており、随時配管中を流れる媒体を切り換え得る配管列に前記空気流を供給して残留する水分を除去する手段と、該空気流を所定の温湿度に調整してクリーンルームに供給する手段と、を含むことを特徴とするクリーンエアー供給装置。
IPC (5件)：
F24F 3/00
, B01D 50/00
, B01D 51/02
, F24F 3/16
, F24F 7/06
