特許

J-GLOBAL ID：200903034583239216

冷却装置および露光装置

発明者： 秋山 恭一 ,  白石 正弘 ,  正田 陸生 ,  遠藤 豊
出願人/特許権者： 株式会社朝日工業社 ,  株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大島 道男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-084580
公開番号（公開出願番号）：特開平8-264424
出願日： 1995年03月17日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：

【要約】【目的】 放熱側流体の放熱の変動による温度変動があっても、その影響を吸熱側流体には及ぼすことなく、吸熱側流体の高度な温度精度を確保できるようにした冷却装置を提供する。【構成】 ペルチェ素子1の放熱側には熱伝導体6を介して放熱側流体と接触せしめ、放熱側にて加温された放熱側流体は冷却塔等の放熱部3に移送して放熱せしめてより、放熱側流体の流量に対して充分に大きなバッファタンク9に貯留した後、ペルチェ素子1の放熱側に還流せしめる一方、ペルチェ素子1の吸熱側には、熱伝導体7を介して吸熱側流体と接触せしめ、吸熱側にて冷却された吸熱側流体は冷却機器部5に移送して冷却操作を行わせた後、ペルチェ素子1の吸熱側に還流するようになした。

請求項（抜粋）：

ペルチェ素子の放熱側には熱伝導体を介して放熱側流体と接触せしめ、放熱側にて加温された放熱側流体は冷却塔等の放熱部に移送して放熱せしめてより、放熱側流体の流量に対して充分に大きなバッファタンクに貯留した後、ペルチェ素子の放熱側に還流せしめる一方、ペルチェ素子の吸熱側には、熱伝導体を介して吸熱側流体と接触せしめ、吸熱側にて冷却された吸熱側流体は冷却機器部に移送して冷却操作を行わせた後、ペルチェ素子の吸熱側に還流するようになしたことを特徴とする冷却装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  F24F 1/00 351 ,  F25B 21/02 ,  G03F 7/20 521

FI (5件)：

H01L 21/30 502 H ,  F24F 1/00 351 ,  F25B 21/02 B ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 516 E