特許

J-GLOBAL ID：200903034584345524

強誘電体素子およびそれを用いたアクチュエータ、インクジェットヘッドならびにインクジェット式記録装置

発明者： 鎌田 健 ,  藤井 覚
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-364065
公開番号（公開出願番号）：特開2003-163387
出願日： 2001年11月29日
公開日（公表日）： 2003年06月06日
要約：

【要約】【課題】 強誘電体素子を用いたアクチュエータを備えたインクジェットヘッドにおいて、電極と強誘電体膜の親和性を強固にすることにより、耐電圧特性や変位性能を改善し、高信頼性のインクジェットヘッドを実現する。【解決手段】 強誘電体素子11は、強誘電体膜103と強誘電体膜103をはさんで配置される第1の電極102と第2の電極104を備える。第1の電極102と強誘電体膜103との間には第1の親和性薄膜111が配置される。また、強誘電体膜103と第2の電極膜104との間には第2の親和性薄膜112が配置される。

請求項（抜粋）：

第1の電極膜と、前記第1の電極膜上に形成された強誘電体膜と、前記強誘電体膜上に形成された第2の電極膜と、少なくとも一方の前記電極膜と前記強誘電体膜との間に形成され、当該電極膜と前記強誘電体膜とに対して親和性を有する親和性薄膜とを備えていることを特徴とする強誘電体素子。

IPC (6件)：

H01L 41/09 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 27/105 ,  H01L 41/18

FI (6件)：

H01L 41/08 L ,  H01L 27/10 444 C ,  H01L 41/18 101 Z ,  H01L 41/08 U ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

Fターム (15件)：

2C057AF65 ,  2C057AF93 ,  2C057AG42 ,  2C057AG44 ,  2C057AP32 ,  2C057AP33 ,  2C057AP52 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14 ,  5F083JA15 ,  5F083JA36 ,  5F083JA37 ,  5F083JA38 ,  5F083JA39 ,  5F083JA43