特許

J-GLOBAL ID：200903034588729491

自動焦点装置

発明者： 松川 芳彦
出願人/特許権者： 沖電気工業株式会社 ,  宮崎沖電気株式会社
代理人 (1件)： 柿本 恭成
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-159213
公開番号（公開出願番号）：特開2002-353119
出願日： 2001年05月28日
公開日（公表日）： 2002年12月06日
要約：

【要約】【課題】 焦点を自動的に合わせることができる半導体露光装置用の自動焦点装置を提供する。【解決手段】 ウエハステージ11上に搭載された半導体ウエハ1の表面に、露光装置からパターンが照射され、アライメントマークMが複数のビデオカメラ14で撮影される。各ビデオカメラ14から出力される電気信号SIGは制御部15に与えられ、この制御部15から複数のベローズ12に空気圧AIRが出力される。空気圧AIRに応じて各ベローズ12が駆動され、ウエハステージ11の位置が調整される。制御部15では、各ビデオカメラ14の電気信号SIGがそれぞれ最大のピーク値を示すように、各ベローズ12に対する空気圧AIRの値が制御される。これにより、半導体ウエハ1の表面にパターンの焦点を合わせることができる。

請求項（抜粋）：

ウエハステージ上に搭載された半導体ウエハ表面に照射されたパターンを撮影し、その撮影したパターンに応じた電気信号を出力する複数のパターン撮影手段と、制御信号に従って前記ウエハステージの位置を調整する複数のステージ調整手段と、前記複数のパターン撮影手段から出力される電気信号がそれぞれ最大のピーク値を示すように、前記複数のステージ調整手段に前記制御信号を与え、前記ウエハステージ上の半導体ウエハ表面に前記パターンの焦点が合うように制御する焦点制御手段とを、備えたことを特徴とする自動焦点装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  G02B 7/28 ,  G02B 7/36 ,  G03F 1/08 ,  H01L 21/68

FI (6件)：

G03F 1/08 N ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 526 A ,  H01L 21/30 503 A ,  G02B 7/11 D ,  G02B 7/11 M

Fターム (27件)：

2H051AA10 ,  2H051BA47 ,  2H051BA72 ,  2H051CC04 ,  2H051FA01 ,  2H051FA07 ,  2H095BA01 ,  2H095BE03 ,  2H095BE07 ,  5F031CA02 ,  5F031HA53 ,  5F031JA04 ,  5F031JA17 ,  5F031JA30 ,  5F031JA37 ,  5F031JA38 ,  5F031KA07 ,  5F031LA06 ,  5F031LA10 ,  5F031MA27 ,  5F046CC01 ,  5F046CC05 ,  5F046CC18 ,  5F046DA14 ,  5F046DB05 ,  5F046DB10 ,  5F046DC10