特許
J-GLOBAL ID：200903034589841406
塗布装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-140657
公開番号（公開出願番号）：特開平5-329423
出願日： 1992年06月01日
公開日（公表日）： 1993年12月14日
要約：
【要約】【目的】 機械的誤差を補正し、安定した高精度な塗布装置を提供する。【構成】 接着剤11を充填したカートリッジ1と、そのカートリッジ1を保持して基板4に対してXY方向及びθ方向に駆動する手段6、7、8と、塗布の位置・形状を検出する認識カメラ3と、検出した結果により塗布ノズル2の位置をXYθ方向に制御する演算部を備え、材料切れ等によりカートリッジ1を交換・着脱した時に塗布ノズル2による塗布位置を検出してXYθのずれ量を補正する。
請求項（抜粋）：
塗布材料を充填したカートリッジと、塗布対象のワークを保持する手段と、カートリッジを保持してワークに対してXY方向及びθ方向に駆動する手段と、塗布位置及び形状を検出する手段と、検出結果によりカートリッジの先端のノズル位置をXY方向及びθ方向に位置制御する手段とを備えたことを特徴とする塗布装置。
IPC (2件)：
B05C 5/00 101
, B05C 5/00
