特許

J-GLOBAL ID：200903034610256640

形状測定装置

発明者： 雨宮 昇
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-195735
公開番号（公開出願番号）：特開2002-013917
出願日： 2000年06月29日
公開日（公表日）： 2002年01月18日
要約：

【要約】【課題】被検物の高さ情報を高精度に得る形状測定装置を提供する。【解決手段】被検物31に対して上方から照明光を照射し、その反射光を結像させるコンフォーカル光学系50と、被検物31に対して斜め方向から照明光を照射し、その反射光を結像させる斜方像観察光学系60とを有する。コンフォーカル光学系50の照明光の照射範囲と、斜方像観察光学系60の照明光の照射範囲は、被検物31上で重なっている。コンフォーカル光学系50は、照明光を通過させるピンホール14aと、ピンホール14aを通過した光束を被検物31上に集光するとともに、反射光をピンホール14a上に集光する対物レンズ11とを含む。光路中には光路を折り曲げる反射部材13が配置され、光路の光路長を変化させるために反射部材13を移動させる駆動部104が備えられている。

請求項（抜粋）：

被検物に対して上方から照明光を照射し、その反射光を結像させるコンフォーカル光学系と、前記被検物に対して斜め方向から照明光を照射し、その反射光を結像させる斜方像観察光学系とを有し、前記コンフォーカル光学系の照明光の照射範囲と、前記斜方像観察光学系の照明光の照射範囲は、前記被検物上で重なっていることを特徴とする形状測定装置。

IPC (3件)：

G01B 11/24 ,  G06T 1/00 400 ,  G06T 7/60 150

FI (3件)：

G06T 1/00 400 Z ,  G06T 7/60 150 J ,  G01B 11/24 K

Fターム (33件)：

2F065AA24 ,  2F065AA53 ,  2F065FF04 ,  2F065FF10 ,  2F065GG02 ,  2F065HH04 ,  2F065HH12 ,  2F065HH13 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ09 ,  2F065LL04 ,  2F065LL13 ,  2F065LL17 ,  2F065LL62 ,  2F065LL65 ,  2F065MM16 ,  2F065QQ31 ,  2F065UU07 ,  5B047AA07 ,  5B047BA02 ,  5B047BB09 ,  5B047BC12 ,  5B047CA17 ,  5B047CB21 ,  5B047DC09 ,  5L096CA05 ,  5L096DA02 ,  5L096EA27 ,  5L096FA64 ,  5L096FA66