可変形状鏡及び可変形状鏡の制御方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-358248
公開番号（公開出願番号）：特開2003-161818
出願日： 2001年11月22日
公開日（公表日）： 2003年06月06日
要約：

【要約】【課題】枠部材の歪みに起因する反射面の歪みと光軸に対する反射面の角度誤差とを矯正し得る可変形状鏡を提供する。【解決手段】可変形状鏡100は上部基板110と下部基板130とを有している。上部基板110は、トラック形状の開口部を有する枠部材112と、その開口部を覆っている可撓性薄膜114と、可撓性薄膜114に設けられた変形用導電性部116とを有している。変形用導電性部116は、光を反射するための反射面と、可撓性薄膜114を変形させるための電極とを兼ねている。下部基板130は、板状部材132と、可撓性薄膜114を変形させるための変形用電極136と、変形用電極136の周囲に配置された四つの矯正用電極152とを有している。変形用電極136は変形用導電性部116の中央部分と対向し、四つの矯正用電極152は変形用導電性部116の周縁部分と対向している。

請求項（抜粋）：

枠部材に支持された可撓性薄膜と、前記可撓性薄膜上に設けられた反射面と、前記可撓性薄膜と一体的に設けられた第1の電極と、前記可撓性薄膜から隔離されると共に前記枠部材に固定された基板上に、前記第1の電極と対向するように設けられた第2の電極とを有し、前記第1または第2の電極のうち少なくとも一方は、前記第1と第2の電極が対向する領域内において、相対的に中央に配置された変形用電極と、前記変形用電極の周囲に配置された矯正用電極とで構成されたことを特徴とする可変形状鏡。

Fターム (6件)：

2H042AA02 , 2H042AA31 , 2H042AA32 , 2H042DA02 , 2H042DA21 , 2H042DD13

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