特許

J-GLOBAL ID：200903034616423670

感光性樹脂組成物およびポリベンゾオキサゾール樹脂

発明者： 金城 直隆 ,  望月 周 ,  近藤 隆
出願人/特許権者： 日東電工株式会社
代理人 (1件)： 岡本 寛之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-385755
公開番号（公開出願番号）：特開2003-183390
出願日： 2001年12月19日
公開日（公表日）： 2003年07月03日
要約：

【要約】【課題】 簡易かつ効率良く製造することができ、しかも、その製造においては環境汚染を低減することができ、しかも、高解像度でパターンニングすることのできる感光性樹脂組成物、および、その感光性樹脂組成物から得られるポリベンゾオキサゾール樹脂を提供すること。【解決手段】 ポリヒドロキシアゾメチンからなるポリベンゾオキサゾール前駆体と、1,4-ジヒドロピリジン誘導体からなる感光剤とを配合して感光性樹脂組成物を得る。この感光性樹脂組成物は、簡易かつ効率良く製造してコストの低減化、環境汚染の低減化、耐腐食性の向上を図ることができる。そして、感光性樹脂組成物を露光および現像してポジ型のパターンでポリベンゾオキサゾール樹脂を得る。この樹脂は、高解像度でパターン化され、優れた電気的特性および機械的特性を有し、信頼性の向上を図ることができる。

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)で示される繰り返し単位構造を有するポリヒドロキシアゾメチンからなるポリベンゾオキサゾール前駆体と、1,4-ジヒドロピリジン誘導体からなる感光剤とを含有することを特徴とする、感光性樹脂組成物。【化1】(式中、Xは、4価の有機基であってアゾメチン基と水酸基とは隣接する2つの炭素にそれぞれ置換されており、Yは2価の有機基を示す。)

IPC (4件)：

C08G 73/08 ,  G03F 7/004 531 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

C08G 73/08 ,  G03F 7/004 531 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (43件)：

2H025AA02 ,  2H025AA10 ,  2H025AA14 ,  2H025AA20 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AB20 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE04 ,  2H025BG00 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J043PA02 ,  4J043PA04 ,  4J043PA19 ,  4J043PB13 ,  4J043QB15 ,  4J043QB44 ,  4J043RA03 ,  4J043RA52 ,  4J043SA05 ,  4J043SA71 ,  4J043SB01 ,  4J043TB01 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UB011 ,  4J043UB012 ,  4J043UB061 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB152 ,  4J043VA012 ,  4J043VA042 ,  4J043VA092 ,  4J043XA13 ,  4J043ZA60 ,  4J043ZB11 ,  4J043ZB22