特許

J-GLOBAL ID：200903034619694853

金属皮膜形成無機結晶物質及びその製造方法

発明者： 太田 進啓 ,  熊澤 佳明
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 内田 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-043162
公開番号（公開出願番号）：特開平9-235200
出願日： 1996年02月29日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：

【要約】【課題】 ダイヤモンド、窒素アルミニウム、砒化ガリウム等の無機結晶物質上に安定かつ高い接着強度形成された金属層を有する金属皮膜形成無機結晶物質及び該金属層を低温で効率よく形成する方法(メタライジング法)を提供すること。【解決手段】 周期律表第III -V族無機結晶物質又は第IV族元素無機結晶物質の、金属皮膜を形成する部分の表面の直上が、0.5原子層(=モノレイヤー)以上、1原子層以下の窒素原子で少なくとも覆われており、該窒素原子層の上に金属皮膜層が形成されている金属皮膜形成無機結晶物質及び窒素原子と水素原子の両方を含む分子、乃至は片方を各々含む分子の混合雰囲気、あるいは水溶液中にて、10nm以上260nm以下の範囲にある光を、該表面全体あるいは一部に照射した後、無電解メッキにより、該表面に金属皮膜層を形成する金属皮膜形成無機結晶物質の製造方法。

請求項（抜粋）：

周期律表第III -V族無機結晶物質又は第IV族元素無機結晶物質の金属皮膜を形成する部分の表面の直上が、0.5原子層(=モノレイヤー)以上、1原子層以下の窒素原子で少なくとも覆われており、該窒素原子層の上に金属皮膜層が形成されていることを特徴とする金属皮膜形成無機結晶物質。

IPC (3件)：

C30B 33/00 ,  C30B 29/02 ,  H01L 21/288

FI (3件)：

C30B 33/00 ,  C30B 29/02 ,  H01L 21/288 Z