特許

J-GLOBAL ID：200903034619703429

搬送モジュール及びクラスターシステム

発明者： 小美野 光明
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 藤元 亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-173318
公開番号（公開出願番号）：特開2001-002241
出願日： 1999年06月18日
公開日（公表日）： 2001年01月09日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、段階的投資を可能にし、初期の投資額と設置面積が比較的少なく拡張性に富む搬送モジュール及びクラスターシステムを提供することを例示的目的とする。【解決手段】 搬送モジュールは、搬送室を画定し、ほぼ矩形断面を有して増設可能な筐体と搬送装置とを有し、搬送装置は複数の筐体及びそれに接続される処理室に共通に使用することができるように構成されている。

請求項（抜粋）：

搬送室を画定し、ほぼ矩形断面を有して増設可能な筐体と、前記搬送室内に設けられて前記筐体内の対向面上を移動可能な可動部と、当該可動部に接続され、前記筐体に設置された処理室と連通可能で非処理体を搬送可能な搬送部と、前記可動部を駆動する駆動部と、前記可動部の駆動を制御する制御部とを有する搬送モジュール。

IPC (2件)：

B65G 49/07 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

B65G 49/07 J ,  H01L 21/68 A

Fターム (9件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031GA02 ,  5F031GA62 ,  5F031MA01 ,  5F031MA03 ,  5F031MA06 ,  5F031MA28 ,  5F031NA05

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭63-157870
  
• 特開昭63-251361
  
• 特開昭63-157870
  
• 特開昭63-251361