特許
J-GLOBAL ID：200903034624990681
オゾン分解器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-241778
公開番号（公開出願番号）：特開平7-096135
出願日： 1993年09月28日
公開日（公表日）： 1995年04月11日
要約：
【要約】【目的】 オゾン分解器のオゾン分解試薬即ち充填剤の劣化をモニタできるようにすること。【構成】 オゾン分解器の一部に充填剤の発熱温度を検出する手段を設け、オゾン分解反応に伴う発熱量をモニタすることにより、前記充填剤の劣化を判定するようにしたオゾン分解器
請求項（抜粋）：
オゾンを分解するための触媒を含む活性炭などの充填剤を収容した容器の一部に、その充填剤の発熱温度を検出する手段を設け、オゾン分解反応に伴う発熱量をモニタすることにより、前記充填剤の劣化を判定するようにしたことを特徴とするオゾン分解器。
IPC (3件)：
B01D 53/86 ZAB
, G01N 25/20
, H01L 21/304 341
