特許
J-GLOBAL ID：200903034628629070
三次元加速度センサ及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 榮
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-304132
公開番号（公開出願番号）：特開平5-119058
出願日： 1991年10月23日
公開日（公表日）： 1993年05月14日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 自動車走行時のサスペンション制御等に利用するもので、三次元に発生する加速度を、組み合わせた一個の加速度センサで各次元毎に検出する。【構成】 基板10にSUS、鉄等を用いその両面に絶縁ホーローがけしたものを3つのブロック1a,2a,3aに区画し、これらのブロックにそれぞれカンチレバ1,2,3を形成し、各カンチレバに加速度センサ構成部品である歪素子4、支持部6、回路部7を設けて3個の加速度センサを構成し、各ブロックを互いに直交する方向に折曲してなり、又歪素子4、回路部7をカンチレバ1〜3上に厚膜式により形成した三次元加速度センサにおいて、ある一方向(例えばX方向)に加速度が生じた場合、カンチレバ2がたわみ、歪素子4が歪を受けることで、抵抗値変化を生じ、その変化を電気信号として取りだすことにより、X方向の加速度を知り、Y方向の加速度はカンチレバ1に形成した加速度センサで、Z方向の加速度はカンチレバ3に形成した加速度センサで検知する。
請求項（抜粋）：
折曲げ線により区画した3個のブロックを基板に形成し、各ブロックにそれぞれ形成したカンチレバに加速度センサ構成部品を設けて後、前記折曲げ線に沿って基板を折り曲げることにより、互いに直交する方向に位置する3個の加速度センサを形成する三次元加速度センサの製造方法。
IPC (2件)：
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