特許
J-GLOBAL ID:200903034631109567

光フィルタの位置合わせ装置および光フィルタの位置合わせ方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 大垣 孝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-310915
公開番号(公開出願番号):特開平11-142670
出願日: 1997年11月12日
公開日(公表日): 1999年05月28日
要約:
【要約】【課題】 グレーティング長の長短に拘わらず光フィルタの位置を正確に調整することができる、ファイバ・ブラッグ・グレーティング方式の光フィルタの位置合わせ装置を提供する。【解決手段】 位相マスク130を介して光ファイバ100に紫外線ビームをスキャンすることにより光ファイバ100にグレーティング領域を形成する光フィルタの位置合わせ装置において、光ファイバ100を保持するファイバホルダ115およびベース板114と、この保持された光ファイバ100に対する紫外線ビームの照射位置をスキャンと垂直な方向に微少振動させるY軸微動ステージ113と、このY軸微動ステージ113が照射位置を振動させたときに光ファイバ100が発する蛍光の位相によって光ファイバ100の位置ずれ方向を検出する位置ずれ検出回路とを備える。
請求項(抜粋):
位相マスクを介して感光性ファイバに紫外線ビームをスキャンすることにより前記感光性ファイバにグレーティング領域を形成してなる光フィルタの位置合わせ装置において、前記感光性ファイバを保持する保持部と、この保持部に保持された前記感光性ファイバに対する前記紫外線ビームの照射位置を前記スキャンと垂直な方向に微少振動させる振動手段と、この振動手段が前記照射位置を振動させたときに前記感光性ファイバが発する蛍光の位相によって、この感光性ファイバの位置ずれ方向を検出する位置ずれ検出手段と、を備えたことを特徴とする光フィルタの位置合わせ装置。
IPC (4件):
G02B 6/16 ,  G02B 6/00 306 ,  G02B 6/10 ,  G03F 9/00
FI (4件):
G02B 6/16 ,  G02B 6/00 306 ,  G02B 6/10 C ,  G03F 9/00 Z
引用特許:
審査官引用 (3件)

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