特許

J-GLOBAL ID：200903034633465018

微少電流測定用テストヘッド

発明者： 田島 佳代子 ,  岩▲崎▼ 信一郎
出願人/特許権者： アジレント・テクノロジー株式会社
代理人 (1件)： 奥山 尚一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-196190
公開番号（公開出願番号）：特開2002-016114
出願日： 2000年06月29日
公開日（公表日）： 2002年01月18日
要約：

【要約】【課題】 ピンブロックに接続される信号ケーブルの振動および温度変動を低減して測定精度を向上する。【解決手段】 ケーシング20の立上り部21内に風防ブロック70を嵌合させる。風防ブロック70は、平行する一対の風防板71と、これらの風防板71間に介在させたスペーサ72で構成され、各ピンブロック10に接続された信号ケーブル50は、各風防板71の対応するスリット71aに挿入され、かつ、スペーサ72によってスリット71aの終端位置に圧入される。

請求項（抜粋）：

複数の接触用ピンを有したピンブロックをケーシングの外部に所定角度間隔で配列固定するとともに、前記各ピンブロックの接触ピンに接続された信号授受用の信号ケーブルを前記各ピンブロックから前記ケーシング内に導入し、かつ、前記ケーシングの側壁に吸気口および排気口を形成した微少電流測定用テストヘッドであって、前記信号ケーブルをその周囲を流れる空気流から遮断する風防手段を設けたことを特徴とする微少電流測定用テストヘッド。

IPC (3件)：

H01L 21/66 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/28

FI (3件)：

H01L 21/66 B ,  G01R 1/06 E ,  G01R 31/28 K

Fターム (15件)：

2G011AA17 ,  2G011AE03 ,  2G011AF05 ,  2G032AA01 ,  2G032AF02 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106BA14 ,  4M106CA04 ,  4M106DD03 ,  4M106DD10 ,  4M106DD22 ,  4M106DD23 ,  4M106DD30 ,  4M106DJ40