特許
J-GLOBAL ID：200903034634219665

ストリームライン・パッケージングを有する熱式流量センサ

発明者：
トラルフ・ボルク

トラルフ・ボルク について


出願人/特許権者：
コドマン・アンド・シャートレフ・インコーポレイテッド

コドマン・アンド・シャートレフ・インコーポレイテッド について


代理人 (4件)： 田澤 博昭 ,  加藤 公延 ,  田澤 英昭 ,  濱田 初音
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-190336
公開番号（公開出願番号）：特開2006-017722
出願日： 2005年06月29日
公開日（公表日）： 2006年01月19日
要約：
【課題】CSFに接触しない温度センサ及びヒーターを用いてCSFの流量を測定する熱式流量センサを提供すること。【解決手段】熱式流量センサであって、第1の面及び反対側の第2の面を有する第1の基板、第2の基板、及び第3の基板を有する。第1の基板は、その第2の面が第2の基板の第1の面に当接するように第2の基板に結合され、第3の基板は、その第1の面が第2の基板の第2の面に当接するように第2の基板に結合されている。第1の基板、第2の基板、及び第3の基板は、第1の基板の第1の面と第3の基板の第2の面との間に延在する少なくとも1つの端部を有する多層本体構造を形成している。第2の基板は内部に形成された溝を有し、その第2の基板、第1の基板の第2の面、及び第3の基板の第1の面によって画定された導管が形成されている。導管は端部に形成された入口開口及び出口開口を有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1の面及び反対側の第2の面を有する第1の基板と、 第1の面及び反対側の第2の面を有する第2の基板であって、前記第1の基板の前記第2の面が前記第2の基板の前記第1の面に当接するように前記第1の基板に結合された、前記第2の基板と、 第1の面及び反対側の第2の面を有する第3の基板であって、前記第2の基板の前記第2の面が前記第3の基板の前記第1の面に当接するように前記第2の基板に結合された、前記第3の基板とを含み、 前記第1の基板、前記第2の基板、及び前記第3の基板が、前記第1の基板の前記第1の面と前記第3の基板の前記第2の面との間に延在する少なくとも1つの端部を有する多層本体構造を形成しており、前記第2の基板が内部に形成された溝を有し、これにより、前記第2の基板、前記第1の基板の前記第2の面、及び前記第3の基板の前記第1の面によって画定された導管が形成されており、前記導管が、入口開口及び出口開口を有しており、前記各開口が前記少なくとも1つの端部に形成されていることを特徴とする熱式流量センサ。
IPC (3件)：
G01F 1/684 ,  G01F 1/00 ,  G01F 1/692
FI (5件)：
G01F1/68 101A ,  G01F1/00 Q ,  G01F1/68 101B ,  G01F1/68 104A ,  G01F1/68 104B
Fターム (6件)：
2F030CC20 ,  2F030CE13 ,  2F035AA06 ,  2F035EA01 ,  2F035EA05 ,  2F035EA08
引用特許：
審査官引用 (15件)
  • 熱式流量計
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-395006   出願人：シーケーディ株式会社
  • フローセンサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-135283   出願人：株式会社山武
  • 特許第6527835号
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