特許

J-GLOBAL ID：200903034640554158

レーザ加工用光学装置

発明者： 布施 敬司
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人サンクレスト国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-082077
公開番号（公開出願番号）：特開2007-253203
出願日： 2006年03月24日
公開日（公表日）： 2007年10月04日
要約：

【課題】高い集光位置精度を有する高速加工可能なレーザ加工用光学装置を提供する。【解決手段】ガルバノミラー4により偏向されたレーザ光を集光するfθレンズ6とプリント基板7との間の光路上に、当該fθレンズ6により集光されるレーザ光を複数のレーザ光に分岐する回折型光学素子8を導入する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

レーザ光を発生させるレーザ発振器と、このレーザ発振器より発生した前記レーザ光を所定の偏向角度で偏向させるガルバノミラーと、このガルバノミラーにより偏向されたレーザ光を集光するfθレンズと、このfθレンズと加工対象物との間の光路上に配置され、当該fθレンズにより集光されるレーザ光を複数のレーザ光に分岐する回折型光学素子とを備えていることを特徴とするレーザ加工用光学装置。

IPC (3件)：

B23K 26/067 ,  B23K 26/06 ,  G02B 26/10

FI (4件)：

B23K26/067 ,  B23K26/06 Z ,  G02B26/10 104Z ,  G02B26/10 D

Fターム (14件)：

2H045AB01 ,  2H045BA12 ,  2H045BA26 ,  2H045CA63 ,  2H045CB24 ,  2H045DA00 ,  4E068AF00 ,  4E068CB05 ,  4E068CB08 ,  4E068CD03 ,  4E068CD08 ,  4E068CD13 ,  4E068CE03 ,  4E068DA11

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特許第3458759号公報