特許
J-GLOBAL ID:200903034641850508
光学スキャニングのためのVCSELアレイおよびマイクロレンズの集積化構造
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
吉田 研二 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-321951
公開番号(公開出願番号):特開2003-188460
出願日: 2002年11月06日
公開日(公表日): 2003年07月04日
要約:
【要約】【課題】 VCSELアレイ上に屈折性マイクロレンズを集積化する。【解決手段】 極めてコンパクトで、可動パーツを含まないレーザスキャナであって、垂直共振器型面発光レーザ(VCSEL)310を含む。マイクロレンズ330が、フリップチップ接合によってVCSEL310の発光表面に直接取り付けられる。VCSELアレイ305は、一次元または二次元であってもよい。このレーザアレイは、自由空間光学通信を含む様々な用途において使用できる。
請求項(抜粋):
発光表面を通じて光を発する複数の垂直共振器型面発光レーザエレメントを有するアレイと、はんだバンプを含むフリップチップ接合を介して前記発光表面に接着されたマイクロレンズと、マイクロレンズ内を透過する光を発するよう複数の垂直共振器型面発光レーザエレメントを順次作動させる駆動アクチュエータと、を有するマイクロレーザアレイ。
IPC (4件):
H01S 5/022
, G02B 3/00
, H01S 5/183
, H01S 5/42
FI (4件):
H01S 5/022
, G02B 3/00 A
, H01S 5/183
, H01S 5/42
Fターム (9件):
5F073AB04
, 5F073AB14
, 5F073AB17
, 5F073AB27
, 5F073BA02
, 5F073EA29
, 5F073FA08
, 5F073FA30
, 5F073GA38
引用特許:
出願人引用 (2件)
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米国特許第6121983号明細書
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米国特許第6246708号明細書
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