特許

J-GLOBAL ID：200903034643146026

基板搬送装置

発明者： 加藤 智生 ,  楡井 辰夫
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-339332
公開番号（公開出願番号）：特開2000-164676
出願日： 1998年11月30日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】【課題】本発明は、確実に基板サイズの識別を行うことができる基板搬送装置を提供する。【解決手段】 積層方向に基板を保持したサイズの異なる複数種類のカセット41(42)をエレベータ機構部1aに選択的に取付け可能とし、このエレベータ機構部1aに最大サイズのカセット42を取付けた際に占有する領域外に発光素子11aと受光素子11bを有する透過式センサからなる第2のセンサ11を配置して、選択されたカセットを検知し、この第2のセンサ11の検知出力に応じて基板サイズを検出する。

請求項（抜粋）：

積層方向に基板を保持したサイズの異なる複数種類のカセットを選択的に取付け可能にしたカセット取付け部と、前記カセット取付け部に最大サイズのカセットを取付けた際に占有する領域外に配置され、選択されたカセットを検知する無接触センサと、この無接触センサの検知出力に応じて基板サイズを検出する基板サイズ検出手段とを具備したことを特徴とする基板搬送装置。

Fターム (11件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA11 ,  5F031JA05 ,  5F031JA06 ,  5F031JA32 ,  5F031MA33 ,  5F031PA16 ,  5F031PA20

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-024936
  
• 特開平4-024936
  
• 特開昭64-067933
  
• 特開昭64-067933