特許
J-GLOBAL ID：200903034647671591
分布測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-120652
公開番号（公開出願番号）：特開平9-133517
出願日： 1996年05月15日
公開日（公表日）： 1997年05月20日
要約：
【要約】【課題】 測定時にワークの移動を伴わず、低コストで、短時間でクリーンに膜厚あるいはセルギャップの分布を測定する装置を提供する。【解決手段】 薄膜の膜厚分布を測定、あるいはセルギャップ分布測定の装置において、ワーク(薄膜)7に対し照射する照明光の波長光源1に、波長を可変する手段、あるいは波長を限定する手段を設け、ワーク7からの反射または透過光により得られる分布測定対象の範囲を撮像するTVカメラ等の撮像手段2と、撮像した画像の輝度変化あるいはカラー変化により、膜厚分布あるいはセルギャップの分布を計算する画像処理装置3とを有する。
請求項（抜粋）：
被測定物に対して照射する照明光の波長を可変する波長可変手段と、被測定物からの反射または透過光により得られる画像を撮像する撮像手段と、照明波長を変えながら撮像した画像の輝度変化により計測された値の分布を計算する分布計算手段とを有することを特徴とする分布測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/06 Z
, G01B 11/14 Z
審査官引用 (3件)
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特開平2-310405
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特開平2-310405
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特開平2-310405
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