特許

J-GLOBAL ID：200903034649656662

片面研摩方法

発明者： 柴野 由紀夫 ,  三原田 悟 ,  滝田 政俊
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-131729
公開番号（公開出願番号）：特開平6-238559
出願日： 1992年04月24日
公開日（公表日）： 1994年08月30日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明は被加工物の端面部におけるクラック、割れ、傷などの発生を皆無にするとともに、研磨剤の被加工物端面への付着を防止することができる片面研磨方法の提供を目的とするものである。【構成】 本発明の片面研磨方法は、プレッシャープレートに取り付けられたキャリア内に布を張り付けた後、被加工物を入れて研磨を行なう片面研磨方法において、キャリアと被加工物が接触するキャリア端面よりキャリア表面に沿って一定深さのの凹みを設け、且つこの凹み部分よりキャリア側面部にかけ軟質の布を張り付けたキャリアを使用することを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

プレッシャープレートに取り付けられたキャリア内に布を張り付けた後、被加工物を入れて研摩を行なう片面研摩方法において、キャリアと被加工物が接触するキャリア端面よりキャリア表面に沿って一定の深さの凹みを設け、且つこの凹み部分よりキャリア側面部にかけ軟質の布を張り付けたキャリアを使用することを特徴とする片面研摩方法。