特許
J-GLOBAL ID：200903034650033890
眼鏡用レンズの反射防止膜蒸着装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-159619
公開番号（公開出願番号）：特開平6-003503
出願日： 1992年06月18日
公開日（公表日）： 1994年01月14日
要約：
【要約】【目的】 レンズの両面への反射防止膜の真空蒸着を高能率に行なうことを可能とする。【構成】 レンズの表面に反射防止膜を真空蒸着により形成するものにおいて、真空蒸着チャンバを荒引チャンバ(5)、両面蒸着チャンバ(6)、および取出チャンバ(7)の3槽構造とし、上記両面蒸着チャンバはその内部に回転駆動自在に設けられるドーム(1)にレンズ(11)を個々に保持する保持部を有するレンズホルダ(8a,8b)を有し、このレンズホルダはその両側部がドーム(1)側に軸により転回可能に支持され、作動機構によりレンズホルダを180°転回させるようにしたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
レンズの表面に反射防止膜を真空蒸着により形成するものにおいて、真空蒸着チャンバを荒引チャンバ、両面蒸着チャンバ、および取出チャンバの3槽構造とし、上記両面蒸着チャンバはその内部に回転駆動自在に設けられるドームにレンズを個々に保持する保持部を有するレンズホルダを有し、このレンズホルダはその両側部がドーム側に軸により転回可能に支持され、作動機構によりレンズホルダを180°転回させるようにしたことを特徴とする眼鏡用レンズの反射防止膜蒸着装置。
IPC (3件)：
G02B 1/10
, C23C 14/24
, G02C 13/00
