特許
J-GLOBAL ID：200903034660105317
静電チャック
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-123923
公開番号（公開出願番号）：特開平8-316296
出願日： 1995年05月23日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：
【要約】【目的】 ワークの発熱を抑えられる静電チャックを提供する。【構成】 電極4a,4bとワーク6の吸着面5との間に設けられる誘電体層13の少なくとも一部をダイヤモンドにて構成する。望ましくは、吸着面5にダイヤモンドを露出させる。誘電体層13のダイヤモンドと熱的に接触して誘電体層13から吸熱する吸熱部14を設けるとよい。
請求項（抜粋）：
電極とワークの吸着面との間に設けられる誘電体層の少なくとも一部がダイヤモンドにて構成されたことを特徴とする静電チャック。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 R
, B23Q 3/15 D
