特許
J-GLOBAL ID:200903034661309374
高周波回路の検査装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
河村 洌
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-277511
公開番号(公開出願番号):特開2001-099889
出願日: 1999年09月29日
公開日(公表日): 2001年04月13日
要約:
【要約】【課題】 耐久性がよく、しかも高周波信号に対しても精度が高く再現性のよい安定で信頼性の高い高周波回路の検査装置を提供する。【解決手段】 金属ブロック1の一面側で被検査物20の各電極端子21〜24とそれぞれ対応する部分に、可動ピン11の先端部が突出するように、RF信号用プローブ3、電源用プローブ4、および接地用プローブ5が設けられている。RF信号用プローブ3および電源用プローブ4は可動ピン11と電気的に接続される金属パイプ13の周囲が絶縁体15、16によりそれぞれ被覆されて金属ブロック1内に埋め込まれている。金属ブロック1の他面側には、少なくとも電源用プローブ4に電源を供給できるように電源端子が形成された配線基板6が固定されている。そして、RF信号用プローブ3の他端部側には、RF信号入出力用の同軸ケーブル7が接続されている。
請求項(抜粋):
金属ブロックと、該金属ブロックの一面側で被検査物の各電極端子とそれぞれ対応する部分に、可動ピンの先端部が突出するように設けられるRF信号用プローブおよび接地用プローブとからなり、前記RF信号用プローブはその周囲が絶縁体により被覆されて前記金属ブロック内に埋め込まれ、該プローブを内導体とし前記金属ブロックを外導体とする同軸線を構成するように前記絶縁体が設けられ、該RF信号用プローブの他端部側にRF信号入出力用の同軸ケーブルが接続されてなる高周波回路の検査装置。
IPC (4件):
G01R 31/26
, G01R 1/06
, G01R 1/067
, G01R 1/073
FI (4件):
G01R 31/26 J
, G01R 1/06 A
, G01R 1/067 C
, G01R 1/073 B
Fターム (13件):
2G003AE03
, 2G003AG03
, 2G011AA02
, 2G011AA16
, 2G011AB01
, 2G011AB03
, 2G011AB04
, 2G011AB06
, 2G011AB09
, 2G011AC05
, 2G011AC32
, 2G011AE01
, 2G011AF07
引用特許:
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