特許
J-GLOBAL ID：200903034666206220
トンネル搬送方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-039246
公開番号（公開出願番号）：特開平7-228344
出願日： 1994年02月14日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：
【要約】【目的】 搬送効率が高く、事故対処性にも適した搬送トンネルの配置及び、その搬送方法を提供する。【構成】 複数の処理室A,B...Kと、該処理室の間をトンネルで接続し、被処理体を外気から隔離してその処理室間を搬送するトンネル搬送装置において、主搬送路8,9を2本並べその両端を搬送路10で接続した閉ループ型の主搬送路を形成し、かつ、通常運転時は、主搬送路8,9を一方通行で回転するように被処理体は移動し、搬送トンネルが一部分使用不可能な状態の時は、一方通行を解除して、両方向通行として、運航不可能な箇所を迂回して搬送する。
請求項（抜粋）：
複数の処理室と、該処理室の間をトンネルで接続し、被処理体を外気から隔離してその処理室間を搬送するトンネル搬送装置において、主搬送路を2本並べその両端を搬送路で接続した閉ループ型の主搬送路を形成し、かつ、通常運転時は、主搬送路を一方通行で回転するように被処理体は移動し、搬送トンネルが一部分使用不可能な状態の時は、一方通行を解除して、両方向通行として、運航不可能な箇所を迂回して搬送することを特徴とするトンネル搬送方法。
IPC (4件)：
B65G 54/02
, B65G 49/00
, H01L 21/02
, H01L 21/68
