特許
J-GLOBAL ID:200903034672144946

表面弾性波素子とその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小鍜治 明 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-180858
公開番号(公開出願番号):特開平6-291596
出願日: 1992年07月08日
公開日(公表日): 1994年10月18日
要約:
【要約】【目的】 表面弾性波素子、例えば、フィルタや共振子の高周波特性、特に共振周波数が高くても、損失が少なく共振のQに優れ、耐電力特性に優れ、小型化の可能な表面弾性波素子の構造とその製造方法を提供することを目的とする。【構成】 振動時にも表面弾性波振動部に直接触れないだけの空隙をあけて櫛形電極を備え、該櫛形電極を表面弾性波振動部に設けた絶縁性支持部により支持し構成する。
請求項(抜粋):
圧電基板と櫛形電極からなる表面弾性波素子において、前記櫛形電極の少なくとも主要部分が、前記圧電基板表面弾性波振動部分近傍にあって、かつ直接触れないだけの空隙をあけて設けられており、表面弾性波振動部上に設けられた絶縁性物質により前記電極が支持されていることを特徴とする表面弾性波素子。
IPC (2件):
H03H 9/25 ,  H03H 9/145
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開昭63-127125

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