特許
J-GLOBAL ID：200903034677489801
集積型SPMセンサーおよびその温度測定回路
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-119407
公開番号（公開出願番号）：特開平7-325092
出願日： 1994年05月31日
公開日（公表日）： 1995年12月12日
要約：
【要約】【目的】カンチレバー部の温度を測定する機能を備えた集積型SPMセンサーを提供する。【構成】集積型SPMセンサーは、支持部110から延出したU字状のカンチレバー124を有している。カンチレバー124は、シリコン層114の下面にピエゾ抵抗層116を、上面に金属膜132たとえば白金(Pt)薄膜を積層して構成されている。カンチレバー124の先端部には探針130が設けられている。ピエゾ抵抗層116は、絶縁層112と118によって覆われ絶縁されており、その端部に絶縁層に開けたコンタクトホールを介して導通された電極120が設けられている。金属膜132は、カンチレバー124の上面のみに留まらず、支持部110の斜面部を上って、上面の絶縁層122の上まで延びており、絶縁膜122上において電極134と136となっている。
請求項（抜粋）：
支持部より延びる柔軟なカンチレバーと、カンチレバーの歪みに応じて抵抗値が変化する、カンチレバーの一方の面に設けられたほぼU字状の抵抗層で、その湾曲部は先端部に位置し、端部は共に支持部まで延びていて、両端には電圧が印加され、内部を流れる電流が測定される抵抗層と、温度に応じて抵抗値が変化する、カンチレバーの他方の面に設けられたほぼU字状の金属膜で、その湾曲部は先端部に位置し、端部は共に支持部まで延びていて、両端には電圧が印加され、内部を流れる電流が測定される金属膜とを備えている、集積型SPMセンサー。
IPC (5件)：
G01N 37/00
, G01B 7/16
, G01B 21/30
, G01K 7/18
, H01J 37/28
