特許

J-GLOBAL ID：200903034687040187

基板搬送装置およびレチクル

発明者： 瀧口 浩志 ,  遠藤 豊
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-353792
公開番号（公開出願番号）：特開平11-186359
出願日： 1997年12月22日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：

【要約】【課題】 各種ミスが発生した場合でも余計な搬送工程を回避する。【解決手段】 基板17を収納するケース18と、基板17を用いて所定の処理を行う処理装置16との間で基板17を搬送する基板搬送装置において、基板17の端面38に、基板17を識別する識別部39を設け、この識別部39を読み取る読み取り部40を設けた。

請求項（抜粋）：

基板を収納するケースと、該基板を用いて所定の処理を行う処理装置との間で前記基板を搬送する基板搬送装置において、前記基板の端面には、該基板を識別する識別部が設けられ、該識別部を読み取る読み取り部を設けたことを特徴とする基板搬送装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  G03F 1/08 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

H01L 21/68 A ,  G03F 1/08 R ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 502 J ,  H01L 21/30 502 P ,  H01L 21/30 503 E