特許
J-GLOBAL ID:200903034688218125

研磨洗浄組成物

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 川口 義雄 (外2名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-546548
公開番号(公開出願番号):特表2001-522393
出願日: 1998年04月17日
公開日(公表日): 2001年11月13日
要約:
【要約】本発明は、a)0.1〜20重量%の、懸濁系を形成する1またはそれ以上の界面活性剤、b)2〜80重量%の1またはそれ以上の懸濁研磨剤、c)0.5〜10重量%のC2-C6アルカノールアミン、およびd)0.25〜10重量%の炭化水素共溶媒を含むpH7〜13の液体研磨洗浄組成物を提供する。アルカノールアミンは、洗浄を改善し、それにより、表面を損傷する可能性を軽減してリンス効果を高めるように懸濁研磨剤のレベルを低下させることを可能にする、基剤および溶媒の両方として働く。炭化水素共溶媒の存在は、極端な温度での組成物の安定性を維持するために必要であると考えられる。
請求項(抜粋):
a)0.1〜20重量%の、懸濁系を形成する1またはそれ以上の界面活性剤、b)2〜80重量%の1またはそれ以上の懸濁研磨剤、c)0.5〜10重量%のC2-C6アルカノールアミン、およびd)0.25〜10重量%の炭化水素共溶媒、を含むpH7〜13の液体研磨洗浄組成物。
IPC (4件):
C11D 3/30 ,  C11D 3/14 ,  C11D 3/43 ,  C11D 17/08
FI (4件):
C11D 3/30 ,  C11D 3/14 ,  C11D 3/43 ,  C11D 17/08

前のページに戻る