特許

J-GLOBAL ID：200903034691736005

光学式マイクロリニアエンコーダ

発明者： 橋本 栄 ,  村上 賢治 ,  山本 英二 ,  駒崎 岩男 ,  宮島 博志 ,  伊藤 正孝
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-049502
公開番号（公開出願番号）：特開平8-247791
出願日： 1995年03月09日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：

【要約】【目的】光学要素が少なく超小型で高精度の光学式エンコーダを提供する。【構成】光学式エンコーダは移動可能に連結したスケール110と受発光部120から構成されている。スケール110は主摺動面112に対して突出した凸部114を有し、凸部114には鋸歯状に加工されたスケール面116が形成されている。受発光部120は、主摺動面122に対して窪んでいる凹部124を有し、凹部124の底面には面発光レーザ128とフォトダイオード130が形成されている。また、主摺動面122には、複数の突起126が等間隔で設けられている。スケール110と受発光部120は、凸部114を凹部124に入れることで、外れることなく、長手方向に移動可能に連結されている。

請求項（抜粋）：

光源と、光源に対して相対的に移動するスケールと、このスケールからの反射光、透過光または回折光を受光するための受光素子とを有する光学式マイクロリニアエンコーダにおいて、半導体単結晶基板を異方性エッチングすることにより形成された、長溝状に凹んだ凹部とこの凹部の両側に形成された主摺動面とを有する凹部材と、半導体単結晶基板を異方性エッチングすることにより形成された、主摺動面とこの主摺動面に対して突出した凸部とを有する凸部材で、凸部が前記凹部材の凹部に遊嵌していて前記凹部材に対して移動できる凸部材と、凹部材と凸部材の一方の部材に移動方向に沿って設けられたスケールと、凹部材と凸部材の他方の部材に前記スケールのスケール面に対向するように設けられた垂直共振器型面発光レーザおよび受光素子とを有することを特徴とする光学式マイクロリニアエンコーダ。

IPC (2件)：

G01D 5/30 ,  G01D 5/34

FI (3件)：

G01D 5/30 F ,  G01D 5/34 D ,  G01D 5/34 G