特許

J-GLOBAL ID：200903034691985641

放射線検出器の製造方法、放射線検出器およびX線CT装置

発明者： 八百井 佳明 ,  新野 俊之
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (7件)： 鈴江 武彦 ,  村松 貞男 ,  坪井 淳 ,  橋本 良郎 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  河井 将次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-164751
公開番号（公開出願番号）：特開2004-008406
出願日： 2002年06月05日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：

【課題】ウェハに対する検出素子の歩留まりを向上させること。【解決手段】ウェハ23に複数の検出素子3をマトリクス状に形成し(S1)、ウェハ23を、m×nのマトリクスサイズを有する複数のブロック5に切断し(S2)、ブロック5を個別に検査し(S3)、検査を通過したブロック5を配列して、M×N(M>m≧1、N>n≧1の少なくとも一方を満たす)のマトリクスサイズを有するモジュール1を構成し(S4)、モジュールを配列して放射線検出器を構成する(S5)。【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

ウェハに複数の検出素子をマトリクス状に形成し、 前記ウェハを、m×nのマトリクスサイズを有する複数のブロックに切断し、 前記ブロックを個別に検査し、 前記検査を通過したブロックを配列して、M×N(M>m≧1、N>n≧1の少なくとも一方を満たす)のマトリクスサイズを有するモジュールを構成し、 前記モジュールを配列して放射線検出器を構成することを特徴とする放射線検出器の製造方法。

IPC (4件)：

A61B6/03 ,  G01T1/24 ,  H01L27/14 ,  H01L31/09

FI (6件)：

A61B6/03 320Y ,  A61B6/03 320R ,  G01T1/24 ,  H01L27/14 D ,  H01L31/00 A ,  H01L27/14 K

Fターム (32件)：

2G088EE02 ,  2G088FF02 ,  2G088GG19 ,  2G088GG20 ,  2G088JJ05 ,  2G088JJ09 ,  2G088JJ37 ,  4C093AA22 ,  4C093BA03 ,  4C093BA04 ,  4C093BA08 ,  4C093CA32 ,  4C093EB12 ,  4C093EB13 ,  4C093EB17 ,  4C093EB18 ,  4C093EB20 ,  4M118AB01 ,  4M118BA06 ,  4M118CA02 ,  4M118FA06 ,  4M118HA19 ,  4M118HA21 ,  4M118HA24 ,  4M118HA25 ,  5F088AA01 ,  5F088BA18 ,  5F088BB07 ,  5F088EA04 ,  5F088JA03 ,  5F088JA17 ,  5F088JA20