特許
J-GLOBAL ID：200903034693005725
研磨パットの処理剤
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-107427
公開番号（公開出願番号）：特開平6-304858
出願日： 1993年04月09日
公開日（公表日）： 1994年11月01日
要約：
【要約】【目的】 研磨パットとスラリーとの親和性をよくすることによって研磨立ち上げ時間を短かくする機能を研磨パットに付与する処理剤を提供することを目的とする。【構成】 炭素数が1から4までの脂肪族アルコールと水に可溶な脂肪族系グリコールと水とで構成される処理剤。【効果】 スラリーが研磨パットに均一に滲透,分散するため研磨の立ち上げが早くなり生産能率が向上,研磨傷の発生減少により品質の向上,不良率の低減が出来た。
請求項（抜粋）：
炭素数1から4の脂肪族系アルコールと水に可溶な脂肪族系グリコールと水を成分とすることを特徴とする研磨パットの処理剤。
IPC (2件)：
引用特許：
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