特許
J-GLOBAL ID：200903034693807821
共焦干渉顕微鏡のための背景補償
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
社本 一夫 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-534709
公開番号（公開出願番号）：特表2001-513191
出願日： 1998年01月22日
公開日（公表日）： 2001年08月28日
要約：
【要約】焦合画像の計測における系統的誤差及び統計的誤差の両方を減少するように焦合画像を焦点外画像から識別するシステムを提供する。本システムは、点光源(10)からプローブビーム(P23B)及び基準ビーム(R22B)を発生し、基準ビーム(R22B)に反対称空間特性を発生する。プローブビーム(P22B)を焦合画像点(28)に差し向けることによって、焦合戻りプローブビーム(P32A)を発生し、反対称空間特性を焦合戻りプローブビーム(P32B)に発生する。基準ビーム(R32C)を焦点外画像点(58)からのビームと干渉させ、基準ビーム(R32C)を焦合戻りビーム(P32C)と干渉させる。基準ビーム(R32D)を単ピクセル検出器(114)によって基準ビーム(R32D)の振幅の平方として検出し、焦合戻りプローブビーム(P32D)を検出器(114)によって、戻り基準ビーム(R32D)と焦合戻りプローブビーム(P32D)との間の干渉項として検出する。焦点外画像ビーム(B52D)の振幅と戻り基準ビーム(R32D)の振幅との間の干渉項の振幅が大幅に小さくなり、その結果、検出器(114)が発生するデータ中の系統的誤差及び統計的誤差の両方が減少する。本明細書中に説明した実施例では、焦点外画像点(58)からのビームは、焦点外戻りプローブビーム(B52D)である。
請求項（抜粋）：
焦合画像での計測時の統計的誤差を減少するように焦合画像を焦点外画像から識別するための方法において、(a)点光源からプローブビーム及び基準ビームを発生する工程と、(b)前記基準ビームに反対称空間特性を生じる工程と、(c)前記プローブビームを焦合画像点に差し向けることによって焦合戻りプローブビームを発生する工程と、(d)前記焦合戻りプローブビームに反対称空間特性を生じる工程と、(e)前記基準ビームを焦点外画像点からのビームと干渉させる工程と、(f)前記基準ビームを前記焦合戻りプローブビームと干渉させる工程と、(g)単ピクセル検出器によって、i.前記基準ビームをこの基準ビームの振幅の平方として検出し、ii.前記焦合戻りプローブビームを戻り基準ビームと前記焦合戻りプローブビームとの間の干渉項として検出する工程とを含み、 かくして、前記焦点外画像ビームの振幅と前記戻り基準ビームの振幅との間の干渉項の振幅が大幅に減少し、これによって、前記単ピクセル検出器が発生するデータの統計的誤差を減少させる、ことを特徴とする方法。
IPC (3件)：
G01B 11/00
, G01B 9/02
, G02B 21/00
G01B 11/00 G
, G01B 9/02
, G02B 21/00
