特許

J-GLOBAL ID：200903034699767171

微小変位装置

発明者： 山宮 広之 ,  水村 峯夫
出願人/特許権者： シグマ光機株式会社
代理人 (1件)： 近島 一夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-069192
公開番号（公開出願番号）：特開2003-269946
出願日： 2002年03月13日
公開日（公表日）： 2003年09月25日
要約：

【要約】【課題】 圧電アクチュエータを用いた微小変位装置にあっては、圧電アクチュエータの駆動による微小範囲の変位では、簡単な構成により移動量を高精度で検出することは困難である。【解決手段】 移動ステージ3側の平坦面52a,52b及び隣接面3f′に近接するように固定部15に一体に設けた変位センサ53a,53b,53cを用いて、各面52a,52b,3f′との距離に応じた出力に基づき、固定部15に対する移動ステージ3の各移動方向(X,Y,Z)の変位(移動量)を検出する。

請求項（抜粋）：

固定部と、該固定部に対して少なくとも2方向に移動し得る移動部と、微小変位機構と、を備え、該微小変位機構の駆動に基づき、前記移動部を、前記固定部に対して微小範囲にて変位する微小変位装置において、前記固定部及び前記移動部のいずれか一方に、前記移動部の各移動方向をそれぞれ検出する変位センサを一体に設けると共に、前記固定部及び前記移動部のいずれか他方に、前記各変位センサに対向して被検出部を一体に設け、前記各変位センサは、前記各被検出部との距離に応じた出力に基づき、前記固定部に対する前記移動部の各移動方向の変位を検出してなる、ことを特徴とする微小変位装置。

IPC (3件)：

G01B 21/00 ,  G05D 3/00 ,  G12B 5/00

FI (3件)：

G01B 21/00 L ,  G05D 3/00 A ,  G12B 5/00 T

Fターム (28件)：

2F069AA04 ,  2F069AA17 ,  2F069BB40 ,  2F069DD12 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG12 ,  2F069GG58 ,  2F069HH09 ,  2F069JJ15 ,  2F069MM24 ,  2F069MM34 ,  2F069MM38 ,  2F078CA08 ,  2F078CB02 ,  2F078CB04 ,  2F078CB09 ,  2F078CB10 ,  2F078CB14 ,  2F078CB18 ,  2F078CC07 ,  2F078CC11 ,  5H303AA05 ,  5H303AA06 ,  5H303CC01 ,  5H303DD14 ,  5H303FF04 ,  5H303HH09