特許

J-GLOBAL ID：200903034710759291

インクジェットヘッド

発明者： 清水 明
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 高野 明近 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-288857
公開番号（公開出願番号）：特開2003-094650
出願日： 2001年09月21日
公開日（公表日）： 2003年04月03日
要約：

【要約】【課題】 個別電極の基本構成を拡散電極にすることでギャップ長の仕上がり精度を向上させる。【解決手段】 記録液を吐出するノズル32に連通する液室25の一部を構成する振動板21と、この振動板21に対してギャップGを介して個別電極13が対向配置された電極支持基板11とを有し、前記振動板21を静電力により変形させ前記液室25内の記録液を加圧して前記ノズル32から吐出させて記録媒体に記録を行う。前記電極支持基板11と振動板21の主たる材料が単結晶シリコンであり、前記電極支持基板11であるシリコンに第1の不純物を、前記個別電極13に第2の不純物をドープして拡散させて、前記個別電極13が前記電極支持基板11に対してPN接合分離で形成されている。

請求項（抜粋）：

記録液を吐出するノズルに連通する液室の一部を構成する振動板と、該振動板に対してギャップを介して個別電極が対向配置された電極支持基板とを有し、前記振動板と個別電極との間に静電圧を印加して該振動板を静電力により変形させて前記液室内の記録液を加圧して前記ノズルから吐出させるインクジェット記録ヘッドにおいて、前記電極支持基板と振動板の主たる材料が単結晶シリコンであり、前記電極支持基板であるベースシリコンに第1の不純物を、前記個別電極に第2の不純物をドープして拡散させて、前記個別電極が前記ベースシリコンに対してPN接合分離で形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

Fターム (12件)：

2C057AF93 ,  2C057AG54 ,  2C057AG93 ,  2C057AP21 ,  2C057AP22 ,  2C057AP25 ,  2C057AP26 ,  2C057AP31 ,  2C057AP56 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA03 ,  2C057BA15