特許
J-GLOBAL ID：200903034715073550
エッチング液組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
南條 博道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-111245
公開番号（公開出願番号）：特開2004-315887
出願日： 2003年04月16日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：
【課題】エッチング精度に優れた、銀または銀合金用のエッチング液組成物を提供すること【解決手段】硝酸、硝酸以外の酸化剤および水を含有し、エッチングにおける面内均一性を向上させる、銀または銀合金用のエッチング液組成物を提供する。好ましい酸化剤は、水溶液中における標準水素電極に対する標準電極電位(25°C、E0)が、1.7V以上である、硝酸第2セリウムアンモニウム、過酸化水素、過硫酸アンモニウム、過マンガン酸カリウム、および過ヨウ素酸からなる群から選択される少なくとも1種である。この組成物は、基板表面に均一なパターンを形成することが可能であり、さらに、作業環境にも悪影響を与えない。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
硝酸、硝酸以外の酸化剤および水を含有し、エッチングにおける面内均一性を向上させる、銀または銀合金用のエッチング液組成物。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (9件)：
4K057WA11
, 4K057WA20
, 4K057WB01
, 4K057WE02
, 4K057WE25
, 4K057WG03
, 4K057WN01
, 5F043AA26
, 5F043BB18
